申请号：

200910086810

申请日：

2009/06/05

公开日：

2009/11/11

公告日：

公开号：

101575695

公告号：

授权日：

授权公告日：

专利类别：

发明

国别省市代码：

11[中国|北京]

代理机构代码：

11203[ ]

代理人：

张慧

发明名称：

一种基于透明材料的激光镀膜装置和方法

国际分类号：

C23C 14/28

范畴分类号：

25F

发明人：

陈继民;李晓刚;杨威;刘富荣

申请人：

北京工业大学

申请人地址：

北京市朝阳区平乐园100号

邮编：

100124

文摘：

本发明公开了一种基于透明材料的激光镀膜装置和方法，属于微加工领域。该装置包括计算机、与计算机相连的激光器、安装在激光器上的激光控制系统、工作台、透明材料板、靶材和平板；其中：激光器与计算机相连，工作台设置在激光控制系统的下方，透明材料、靶材和平板从上到下依次放置在工作台上。镀膜时将靶材置于透明材料板的下面，激光从上面穿过透明材料照射在靶材上，靶材受热熔化溅射至靠近的透明基板上，高热量使透明材料基底产生微熔，从而在透明材料上形成镀层。本发明装置简单，成本低廉，可在透明材料表面镀覆微米级或纳米级厚度的膜层，精度高，可控性好，膜层具有良好的边缘锐度，膜层形状可通过计算机输出控制。