申请号：

200810118963

申请日：

2008/08/27

公开日：

2010/03/03

公告日：

公开号：

101662124

公告号：

授权日：

授权公告日：

专利类别：

发明

国别省市代码：

11[中国|北京]

代理机构代码：

11021[]

代理人：

汤保平

发明名称：

单模量子级联激光器线阵列结构

国际分类号：

H01S 5/40;H01S 5/22;H01S 5/343

范畴分类号：

发明人：

高瑜;刘峰奇;刘俊岐;王占国

申请人：

中国科学院半导体研究所

申请人地址：

北京市海淀区清华东路甲３５号

邮编：

100083

文摘：

一种单模量子级联激光器线阵列结构，其特征在于，该结构包括：一衬底；多个脊形单元，该多个脊形单元依序纵向制作在衬底上，形成脊形结构列；一隔离层，该隔离层制作在多个脊形单元和衬底的表面，该隔离层在该多个脊形单元的上表面为断开，形成电注入窗口；一上欧姆接触层，该上欧姆接触层制作在隔离层以及电注入窗口上；一下欧姆接触层，该下欧姆接触层制作在衬底的下表面。