申请号：

201010279948

申请日：

2010/09/08

公开日：

2011/04/13

公告日：

公开号：

102011098A

公告号：

授权日：

授权公告日：

专利类别：

发明

国别省市代码：

US[美国]

代理机构代码：

11256[]

代理人：

陈文平 徐志明

发明名称：

用于沉积含金属薄膜的含氨基醚的液体组合物

国际分类号：

C23C 16/18

范畴分类号：

25F

发明人：

Ｓ.Ｖ.伊瓦诺维;Ｘ.雷;Ｄ.Ｐ.斯潘斯;Ｊ.Ａ.Ｔ.诺曼;Ｌ.Ｍ.马兹

申请人：

气体产品与化学公司

申请人地址：

美国宾夕法尼亚州

邮编：

文摘：

本发明涉及一种用于沉积含金属薄膜的含氨基醚的液体组合物。一种制剂，包含：ａ）至少一种金属配体络合物，其中一种或多种配体选自β－二酮根、β－酮亚胺基、β－酮酸酯、β－二亚胺基、烷基、羰基、烷基羰基、环戊二烯基、吡咯基、醇根、脒基配体、咪唑基及其混合物；而且金属选自元素周期表的２－１６族元素；和ｂ）至少一种选自以下及其混合物的氨基醚：Ｒ１Ｒ２ＮＲ３ＯＲ４ＮＲ５Ｒ６、Ｒ１ＯＲ４ＮＲ５Ｒ６、Ｏ（ＣＨ２ＣＨ２）２ＮＲ１、Ｒ１Ｒ２ＮＲ３Ｎ（ＣＨ２ＣＨ２）２Ｏ、Ｒ１Ｒ２ＮＲ３ＯＲ４Ｎ（ＣＨ２ＣＨ２）２Ｏ、Ｏ（ＣＨ２ＣＨ２）２ＮＲ１ＯＲ２Ｎ（ＣＨ２ＣＨ２）２Ｏ，其中，Ｒ１－Ｒ６独立地选自Ｃ１－１０直链烷基、Ｃ１－１０支链烷基、Ｃ３－１０环烷基、Ｃ６－Ｃ１０芳香基、Ｃ１－１０烷基胺、Ｃ１－１０烷基氨基烷基、Ｃ２－１０醚、Ｃ４－Ｃ１０环醚、Ｃ４－Ｃ１０环氨基醚及其混合物。